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J-GLOBAL ID:200903062909763720
有機エレクトロルミネセンス素子の製造方法
Inventor:
Applicant, Patent owner:
Agent (2):
渡辺 敬介
, 山口 芳広
Gazette classification:公開公報
Application number (International application number):2003056553
Publication number (International publication number):2004265805
Application date: Mar. 04, 2003
Publication date: Sep. 24, 2004
Summary:
【課題】有機EL素子を構成する有機層のうちの蒸着層の材料である蒸発材料の連続供給が可能で、且つ蒸発材料の飛散も防止される有機EL素子の製造方法を提供すること。【解決手段】基板上に少なくとも陽極、発光層を含む有機層、及び陰極とが積層されてなり、前記有機層の中に真空蒸着法にて形成される蒸着層が少なくとも1層含まれる有機EL素子の製造方法であって、蒸着層の材料である蒸発材料を耐熱性媒体にコーティングしておき、真空蒸着装置内にて前記耐熱性媒体にコーティングされた蒸発材料を加熱して蒸発させ、前記蒸着層を物理的に成膜する。有機層の中に含まれる蒸発層の材料である蒸発材料を耐熱性媒体にコーティングしておいてから真空蒸着装置内に供給するので、材料の飛散による真空槽内の汚染がなく、真空中での材料の連続供給が可能になり、すなわち連続生産が可能になる。【選択図】 図1
Claim (excerpt):
基板上に少なくとも陽極、発光層を含む有機層、及び陰極とが積層されてなり、前記有機層の中に真空蒸着法にて形成される蒸着層が少なくとも1層含まれる有機エレクトロルミネセンス素子の製造方法であって、
蒸着層の材料である蒸発材料を耐熱性媒体にコーティングしておき、
真空蒸着装置内にて前記耐熱性媒体にコーティングされた蒸発材料を加熱して蒸発させ、前記蒸着層を物理的に成膜することを特徴とする有機エレクトロルミネセンス素子の製造方法。
IPC (2):
FI (2):
F-Term (3):
3K007AB18
, 3K007DB03
, 3K007FA01
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