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J-GLOBAL ID：200903062912472753
誘電体バリヤ放電ランプを使用した処理方法
Inventor：
,
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Applicant, Patent owner：
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1993023534
Publication number (International publication number)：1994210287
Application date： Jan. 20, 1993
Publication date： Aug. 02, 1994
Summary：
【要約】【目的】 各種の処理を高品位で行い、かつ、高速度であるいは高効率で行うことが出来る誘電体バリヤ放電ランプを利用した処理方法を提供することである。【構成】 被処理物と処理用流体を接触させて該処理物を処理する方法において、被処理物あるいは処理用流体の一方が誘電体バリヤ放電ランプからの紫外線照射を少なくとも2回以上受け、その時、被処理物ああるいは処理用流体において第1回の照射と第2回以後の照射の少なくとも1回に生ずる化学反応が異なるように構成する。
Claim (excerpt)：
被処理物と処理用流体を接触させて該被処理物を処理する方法において、被処理物あるいは処理用流体の一方が誘電体バリヤ放電ランプからの紫外線照射を少なくとも2回以上受け、その時、被処理物あるいは処理用流体において第1回の照射と第2回以後の照射の少なくとも1回に生ずる化学反応が異なることを特徴とする被処理物の処理方法。
IPC (4)：
C02F 1/32 ZAB
, B01D 53/32 ZAB
, G21K 5/00 ZAB
, H01J 61/16
Cited by examiner (10)
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