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J-GLOBAL ID：200903062927786819
耐温プローブカード
Inventor：
,
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：
金山 敏彦 (外2名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1992326722
Publication number (International publication number)：1994174746
Application date： Dec. 07, 1992
Publication date： Jun. 24, 1994
Summary：
【要約】【目的】 プローブカードを温度変化が激しい試験モードに用いる場合に、熱膨張係数の差によるプローブ12の先端12bの位置ずれを防止する。【構成】 プローブ12の基端12aが固定されるプローブカード基板10と前記プローブ12の中間節点12cを固定する固定リング11との接着固定部に弾性体13を介在させると共に、プローブ12自体にその基端12aと中間節点12cとの間に可撓屈折部12dを設けた。
Claim (excerpt)：
表面にプリント配線が設けられたプローブカード基板と、プリント配線端子に基端が接続固定され、先端が被検査体の端子に向かって伸張した複数のプローブと、プローブカード基板に固定され各プローブの中間節部を固定する固定リングと、を含む耐温プローブカードにおいて、前記各プローブの基端と中間節部との間には可撓屈折部が設けられていることを特徴とする耐温プローブカード。
IPC (2)：
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