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J-GLOBAL ID：200903062934534396

プラズマを提供するための方法及び装置

Inventor： ロイネ ヨハネス ,  アシカイネン マッティ
Applicant, Patent owner： ヴァルティオン テクニリネン テュトキムスケスクス
Agent (1)： 中村 稔 (外6名)
Gazette classification：公表公報
Application number (International application number)：1997514746
Publication number (International publication number)：1999513529
Application date： Oct. 10, 1996
Publication date： Nov. 16, 1999
Summary：

【要約】本発明は、プラズマを形成するためのプロシジャー及び装置に関する。形成されるプラズマを、例えば、導管のガスのような様々なガスに含まれる元素の濃度を調べるのに使用することができる。従来技術に比べて、本発明には、装置の効率が良く、かつ、装置が継続的に動作するという利点がある。更に、本発明の装置により、非常に安定した、制御可能なプラズマを実現できる。

Claim (excerpt)：

磁場がプラズマ形成領域に設定され、火花の放電がプラズマ形成領域につくられ、ガス流がプラズマ形成領域の磁場に通されるようなプラズマを形成するためのプロシジャーであり、 プラズマが、火花の放電によってプラズマ形成領域に形成され、磁場及び放電によって維持されることを特徴とするプロシジャー。

IPC (5)：

H05H 1/24 ,  G01N 21/68 ,  G01N 21/71 ,  H05H 1/40 ,  H05H 1/50

FI (5)：

H05H 1/24 ,  G01N 21/68 ,  G01N 21/71 ,  H05H 1/40 ,  H05H 1/50