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J-GLOBAL ID:200903062943550949

放射線固体検出器

Inventor:
Applicant, Patent owner:
Agent (1): 柳田 征史 (外1名)
Gazette classification:公開公報
Application number (International application number):1999163534
Publication number (International publication number):2000352586
Application date: Jun. 10, 1999
Publication date: Dec. 19, 2000
Summary:
【要約】【課題】 放射線固体検出器において、電荷注入阻止層の膜厚のむらに起因する静電潜像の形成および読取りにおけるノイズを低減し、常に良好な画像を得るようにする。【解決手段】 放射線固体検出器10において、ガラス基板17の表面粗さ(Rmax)を4nm以下あるいは電荷注入阻止層12,15の平均厚さの1/10以下とする。
Claim (excerpt):
基板上に、読取光を透過する第1の電極層と、前記読取光の照射によって導電性を呈する第1の光導電体層と、放射線の照射によって導電性を呈する第2の光導電体層と、前記放射線を透過する第2の電極層とをこの順に積層し、前記第2の電極層と前記第2の光導電体層との間および前記第1の光導電体層と前記第1の電極層との間の少なくともいずれか一方に、正または負の電荷の通過を阻止する電荷注入阻止層を備えてなる放射線固体検出器において、前記基板の表面粗さ(Rmax)が4nm以下であることを特徴とする放射線固体検出器。
IPC (3):
G01T 1/24 ,  G03B 42/02 ,  H04N 1/028
FI (3):
G01T 1/24 ,  G03B 42/02 Z ,  H04N 1/028 Z

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