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J-GLOBAL ID：200903062951870260

イオン散乱分析装置

Inventor： 林 茂樹
Applicant, Patent owner： 株式会社島津製作所
Agent (1)： 縣 浩介
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1991103681
Publication number (International publication number)：1993074410
Application date： Feb. 22, 1991
Publication date： Mar. 26, 1993
Summary：

【要約】【目的】飛行時間型エネルギー分析器を用いたイオン散乱分析装置で、試料を照射するイオンビームから目的のイオン以外のイオン種を除去して測定のS/N比を向上させる。【構成】試料を照射するイオンビームのチョッピング電場に直交させて定常磁場を形成し、目的外のイオン種を除去した。

Claim (excerpt)：

飛行時間型エネルギー分析器を用いたイオン散乱分析装置において、試料を照射するイオンビームをチョッピングするチョッピング電極が形成する電場と直交させて定常磁場を形成する手段を設け、試料を照射するイオンビームから目的以外のイオン種を反らせるようにしたことを特徴とするイオン散乱分析装置。