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J-GLOBAL ID：200903062954578969

静電チャック

Inventor： 辰己 良昭 ,  宮田 征一郎
Applicant, Patent owner： 株式会社創造科学 ,  有限会社宮田技研
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1996100701
Publication number (International publication number)：1996316299
Application date： Mar. 14, 1996
Publication date： Nov. 29, 1996
Summary：

【要約】【目的】 誘電体セラミック面の冷却特性に優れ併せてプラズマ放電の電極面周囲への回り込みを防止できる静電チャックの構造に関わる。【構成】 誘電体セラミック板の電極面が台座の上に直接あるいは間接的にロー付けされた構造の静電チャックにおいて、該ロー付部のロー材層が介在する部分の隙間を該セラミック板の周囲に一体的に取り付けた絶縁体リングで秘蔽してなることを特徴とする。

Claim (excerpt)：

静電吸着機構部が台座の上に直接あるいは間接的にロー付接合された構造の静電チャックにおいて、該接合部側面の金属露出部を該静電吸着機構部周囲に一体的に取り付けた絶縁体リングで包囲、遮蔽してなることを特徴とする静電チャック。

IPC (5)：

H01L 21/68 ,  B23Q 3/15 ,  C23C 14/50 ,  H01L 21/205 ,  H01L 21/3065

FI (5)：

H01L 21/68 R ,  B23Q 3/15 D ,  C23C 14/50 D ,  H01L 21/205 ,  H01L 21/302 B