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J-GLOBAL ID：200903062955370733
紫外線顕微鏡
Inventor：
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Applicant, Patent owner：
Agent (1)：
鈴江 武彦
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1992114922
Publication number (International publication number)：1993127096
Application date： May. 07, 1992
Publication date： May. 25, 1993
Summary：
【要約】【目的】被検体の紫外画像とカラー画像とを同時に表示できる紫外線顕微鏡を提供する。【構成】水銀ランプ18からの光は、照明レンズ系20、対物レンズ系22を通じて半導体デバイス28へ入射される。デバイス28で反射した光の結像光路は、ダイクロイックミラー30aにより紫外線の光路と可視光の光路とに分離される。ここで紫外線は紫外線用CCDカメラ34aへ導かれる。紫外線用CCDカメラ34aは、モノクローム画像信号を画像処理装置36aを通じてディスプレィ38aへ与える。一方、可視光はカラーCCDカメラ34bへ導かれる。カラーCCDカメラ34bは、カラー画像信号を画像処理装置36bを通じてディスプレィ38bへ与える。従って半導体デバイス28の高解像力、高倍率の紫外画像と、半導体デバイス28の色を視認できるカラー画像とを同時に表示できる。
Claim (excerpt)：
被検体を保持すべきステージと、可視域から近紫外域の波長域を有する光を出射する光源と、光源からの光により、ステージに保持された被検体を照明する照明レンズ系と、被検体からの光により被検体の拡大光学像を結像させるべき対物レンズ系を有する像形成レンズ系とを備え、そのうちの少なくとも照明レンズ系と対物レンズ系とは、少なくとも可視域から近紫外域に亘る波長域の光を透過可能な光学材料から形成され、且つその波長域の光に対して像位置の色収差及び倍率の色収差が補正されてなる光学レンズ系と、被検体の少なくとも紫外像を観察する第1の観察手段と、被検体の少なくとも可視像を観察する第2の観察手段と、を備える紫外線顕微鏡。
Patent cited by the Patent：
Cited by examiner (6)
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