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J-GLOBAL ID：200903062955492227
電子顕微鏡装置
Inventor：
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Applicant, Patent owner：
Agent (1)：
薄田 利幸
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1994239784
Publication number (International publication number)：1996106873
Application date： Oct. 04, 1994
Publication date： Apr. 23, 1996
Summary：
【要約】【目的】試料傾斜時における観察対象領域の位置ずれの補正を精密かつ自動的に行なうことができる改良された電子顕微鏡装置を提供すること【構成】試料傾斜時に発生する観察対象領域の位置ずれの補正信号を生成するための手段を試料移動機構制御手段に配備する。試料移動機構は、この位置補正信号を受けて動作し、観察対象領域が試料傾斜前の空間位置に戻るように試料位置を補正する。【効果】試料傾斜に伴う観察対象領域の位置ずれ及び焦点ずれを10nmオーダ以下の精度で補正することができる。
Claim (excerpt)：
電子線源と、電子線を集束して試料に照射するための照射レンズ系と、試料を搭載するための試料ホルダと、試料の電子顕微鏡像を結像させるための結像レンズ系と、電子顕微鏡像を検出して電気信号に変換するための撮像装置と、電子線軸と直交する面に対して試料を傾斜させるための試料回動機構と、試料位置を調整するための試料移動機構と、試料回動機構及び試料移動機構を制御するための制御手段を少なくとも備えた電子顕微鏡装置において、前記制御手段は、試料傾斜時に発生する観察対象領域の位置ずれの補正信号を生成するための手段を含むものであり、かつ、前記試料移動機構は、当該信号生成手段による位置補正信号を受けて動作し、観察対象領域が試料傾斜前の空間位置に戻るように試料位置を補正する機能を有するものであることを特徴とする電子顕微鏡装置。
IPC (2)：
H01J 37/20
, H01J 37/22 501
