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J-GLOBAL ID：200903062987668343

光波長計

Inventor： 濱田 圓
Applicant, Patent owner： 安藤電気株式会社
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1996067325
Publication number (International publication number)：1997236493
Application date： Feb. 28, 1996
Publication date： Sep. 09, 1997
Summary：

【要約】【課題】 軽易な干渉計構成により、高精度な光波長計を提供する。【解決手段】 基準光源1・14からそれぞれ出力される互いに異なる波長の基準光と、被測定光源2から出力される被測定光とを光カプラ16により合波してコリメータレンズ3により平行光束20に変換する。この平行光束20を、ビームスプリッタ5と固定鏡6および移動鏡7で構成される干渉計に入射し、出射干渉光を受光器9・10で光電変換する。光フィルタ17・18は適宜光路に挿入され、受光器9・10の波長帯域を制限する。受光器9・10の出力波形より位相測定部12で各位相変化を測定して演算処理部13に入力し、各種演算処理により波長を計算する。

Claim (excerpt)：

被測定光源(2) から出力される光の波長を測定する光波長計において、所定波長の基準光を出力する基準光源(1,14)と、この基準光源(1,14)の出力光と被測定光源(2) の出力光を合波する光合波手段(15,16) と、この光合波手段(15,16) の出力光を平行光に変換するコリメータレンズ(3) と、コリメータレンズ(3) の出力光を反射光と透過光に2分岐するビームスプリッタ(5) と、ビームスプリッタ(5) で分岐された一方の光を入射しこれをビームスプリッタ(5) に反射する固定鏡(6) と、コリメータレンズ(3) の出力光の光軸方向に沿って平行に振動し、ビームスプリッタ(5) で分岐されたもう一方の光を入射しこれをビームスプリッタ(5) に反射する移動鏡(7) と、ビームスプリッタ(5) により反射された固定鏡(6) からの光とビームスプリッタ(5) を透過した移動鏡(7) からの光の合成により生じる干渉光を光電変換する第1の受光器(9) と、ビームスプリッタ(5) により反射された移動鏡(7) からの光とビームスプリッタ(5) を透過した固定鏡(6) からの光の合成により生じる干渉光を光電変換する第2の受光器(10)と、第1および第2の受光器(9,10)のいずれか一方の光入力を被測定光による干渉光束のみに制限し、他方の光入力を基準光による干渉光束のみに制限する光入力制御手段(17,18) と、第1および第2の受光器(9,10)の出力を入力し基準光と測定光の位相測定を行う位相測定部(12)と、位相測定部(12)の測定結果から前記被測定光の波長計算を行う演算処理部(13)とを備えることを特徴とする光波長計。