Pat
J-GLOBAL ID：200903062996445500
磁気ヘッド測定装置及び同装置に適用する測定方法
Inventor：
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：
鈴江 武彦 (外6名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2002050020
Publication number (International publication number)：2003248911
Application date： Feb. 26, 2002
Publication date： Sep. 05, 2003
Summary：
【要約】【課題】 記録ヘッドの磁界特性である飽和磁界を直接かつ高分解能に観察することを実現し、結果的に記録ヘッドの測定性能を向上できるようにする。【解決手段】 記録ヘッド3上の少なくとも一つの測定点に対して測定を行なう磁気ヘッド測定装置に適用される測定方法において、記録ヘッド3に対して直流電流及び交流電流を合わせた電流を印加して、当該記録ヘッド3から磁界を発生させ、上記測定点を走査するための探針10を支持するカンチレバー2が所定の周波数と振幅で加振されるよう制御した状態で、探針10を記録ヘッド3に接近させ、上記電流印加に応じて記録ヘッド3から発生する磁界が探針10に及ぼす力学的相互作用に相当する信号を、カンチレバー2の振動周波数変化として検出する。
Claim (excerpt)：
記録ヘッド上の少なくとも一つの測定点に対して測定を行なう磁気ヘッド測定装置であって、少なくとも一部に磁性体を有し、前記測定点を走査するための探針と、前記探針を支持するカンチレバーと、前記カンチレバーを加振する加振手段と、前記加振手段により加振される前記カンチレバーの変位を検出する変位検出手段と、前記変位検出手段の検出結果に基づき、前記加振手段が前記カンチレバーを所定の周波数と振幅で加振するよう制御する加振制御手段と、前記記録ヘッドに対して直流電流及び交流電流を合わせた電流を印加して、当該記録ヘッドから磁界を発生させる電流印加手段と、前記電流印加手段により印加される電流に応じて前記記録ヘッドから発生する磁界が前記探針に及ぼす力学的相互作用に相当する信号を、前記カンチレバーの振動周波数変化として検出する信号検出手段と、を具備することを特徴とする磁気ヘッド測定装置。
IPC (2)：
FI (2)：
G11B 5/455 C
, G01N 13/22 A
