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J-GLOBAL ID：200903063015485040

プラズマ励起用電極

Inventor： 高橋 清
Applicant, Patent owner： 国際電気株式会社
Agent (1)： 三好 祥二
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1993184450
Publication number (International publication number)：1995086238
Application date： Jun. 29, 1993
Publication date： Mar. 31, 1995
Summary：

【要約】【目的】プラズマ励起用電極に発生する定在波の影響をなくし、且所要数の分割電極に於けるプラズマ密度の偏りを解消し、電極全体のプラズマ密度の均一化を向上させると共にプラズマ密度を所望のプラズマ密度とすることを可能とする。【構成】プラズマ励起用電極8を所要数の分割電極9,10,11に分割し、各分割電極に高周波電源2を接続すると共に各分割電極に直列に可変コンデンサ21,22,23を接続し、プラズマ励起用電極を分割することで電極に発生する定在波の影響を少なくし、又可変コンデンサにより各電極のプラズマ発生状態を変化させ、電極全体のプラズマ密度の制御を行う。

Claim (excerpt)：

プラズマ励起用電極を所要数の分割電極に分割し、各分割電極に高周波電源を接続すると共に各分割電極に直列に可変コンデンサを接続したことを特徴とするプラズマ励起用電極。

IPC (5)：

H01L 21/3065 ,  H01L 21/205 ,  H05H 1/46 ,  C23C 16/50 ,  C23F 4/00