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J-GLOBAL ID：200903063038422585
検査方法及び装置
Inventor：
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：
井上 義雄
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1998096941
Publication number (International publication number)：1999281585
Application date： Mar. 26, 1998
Publication date： Oct. 15, 1999
Summary：
【要約】【課題】 パターン形状部からの輝度信号レベルが充分な振幅を有して一定となる状態で基板の表面状態を検査することにより、安定した基準で欠陥を正確に検出すること【解決手段】 制御装置6内で、検査対象基板Wの画像信号の複数の検査領域について信号品質パラメータ検出処理を行う。少なくとも1つの検査領域について得られた信号品質パラメータのうちの空間周波数成分が規定値の範囲内であれば、このような検査領域は正常な部分と判断し、この検査領域で得た信号品質パラメータのうちの平均輝度に基づいて照明装置2の制御を行う。各検査領域について得た空間周波数成分のいずれもが規定値よりも小さいと判断された場合、これらの検査領域はすべて異常な部分と判断し、照明装置2は当初設定値に維持される。最後に、制御装置6内で、検査対象基板Wの画像と標準基板Wの画像の両画像を比較して欠陥部分を検出し、適当な画像処理を施した後に制御装置6のディスプレイ上にこれを表示する。
Claim (excerpt)：
検査対象表面の検査領域の表面状態を検出する工程と、前記表面状態を検出して得られた検出信号の特性が所定の信号特性を満たしているか否かを判断する工程と、前記検出信号が前記所定の信号特性を満たしている場合に、前記検出信号に基づいて前記検査領域に存在する欠陥の有無を検出する工程とを備える検査方法。
IPC (2)：
FI (2)：
G01N 21/88 E
, H01L 21/66 J
