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J-GLOBAL ID:200903063108285050
金属酸化物前駆体溶液とその調整方法及び金属酸化物薄膜とその形成方法
Inventor:
,
,
Applicant, Patent owner:
,
Gazette classification:公開公報
Application number (International application number):2002067942
Publication number (International publication number):2003267733
Application date: Mar. 13, 2002
Publication date: Sep. 25, 2003
Summary:
【要約】【課題】 実質的にクラックがなく、緻密で、基体との密着性に優れ、導電性の高い低抵抗の金属酸化物薄膜とそれを作製するための前駆体液を提供。【解決手段】 一般式(I)で表される重合体を含有する金属酸化物前駆体溶液と、液相法により、該溶液を用いて作製した薄膜である。Mは、Mg、Al、Si、Ca、Ti、V、Cr、Mn、Fe、Co、Ni、Cu、Zn、Ga、Ge、Sr、Y、Zr、Nb、Mo、Ru、In、Sn、Sb、Cs、Ba、Hf、Ta、W、Os、Ir、Pb、Bi、La、Ce、Gdから選ばれる少なくとも1種の金属、X1は、OH基、炭素数1〜6の置換または非置換のアルコキシ基、ハロゲン原子、有機酸基または多重結合を有する有機基であり、同一であっても異なっていてもよい。X2は、Hまたは炭素数1〜6の置換または非置換のアルキル基、mは1〜4の整数、nは2〜10の整数である。
Claim (excerpt):
一般式(I)で表される重合体が含有されてなることを特徴とする金属酸化物前駆体溶液。【化1】(式中、Mは、Mg、Al、Si、Ca、Ti、V、Cr、Mn、Fe、Co、Ni、Cu、Zn、Ga、Ge、Sr、Y、Zr、Nb、Mo、Ru、In、Sn、Sb、Cs、Ba、Hf、Ta、W、Os、Ir、Pb、Bi、La、Ce、Gdからなる群から選ばれる金属の少なくとも1種である。X1は、OH基、炭素数1〜6の置換または非置換のアルコキシ基、ハロゲン原子、有機酸基または多重結合を有する有機基であり、同一であっても異なっていてもよい。X2は、水素原子または炭素数1〜6の置換または非置換のアルキル基である。mは1〜4の整数であり、nは、2〜10の整数である。)
IPC (6):
C01G 55/00
, C01G 1/02
, C01G 19/02
, H01B 3/10
, H01B 5/14
, H01B 13/00 503
FI (6):
C01G 55/00
, C01G 1/02
, C01G 19/02 C
, H01B 3/10
, H01B 5/14 A
, H01B 13/00 503 Z
F-Term (24):
4G048AA02
, 4G048AB02
, 4G048AB04
, 4G048AB05
, 4G048AC02
, 4G048AC04
, 4G048AD02
, 4G048AE05
, 4G048AE06
, 4G048AE08
, 5G303AA03
, 5G303AA10
, 5G303AB12
, 5G303BA03
, 5G303CA11
, 5G307FA01
, 5G307FB01
, 5G307FC05
, 5G307FC09
, 5G323BA03
, 5G323BA04
, 5G323BB01
, 5G323BB02
, 5G323BC01
Patent cited by the Patent:
Article cited by the Patent:
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