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J-GLOBAL ID：200903063119518528
磁気ディスクのスクラッチ傷検査装置
Inventor：
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：
梶山 佶是 (外1名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1993309917
Publication number (International publication number)：1995140089
Application date： Nov. 16, 1993
Publication date： Jun. 02, 1995
Summary：
【要約】【目的】 テクスチャ処理の痕跡TX の影響を除去して磁気ディスクのスクラッチ傷Sを短時間で検査する。【構成】 ディスク1の中心孔1a とその前後のを除く領域に対して、約30°の投射角でほぼ平行な光束Lt を投射し、ディスク1の垂直上方に設けられ、光束LT が投射された領域を、ディスク1の約5°の回転角度ごとに受像するCCDカメラ521 を有する検査光学系5、および、その各映像信号を処理してスクラッチ傷Sの大きさデータを算出し、これにRθ座標値を付加して出力するデータ処理部6とにより構成される。【効果】 ディスク1の1回転により検査が短時間になされ、スポット走査方式に比較して検査時間が短縮される。
Claim (excerpt)：
アルミディスクの表面に形成され、テクスチャ処理された磁気膜を有する磁気ディスクを対象とし、該磁気ディスクを装着して回転するスピンドルと、該磁気ディスクの回転角度を検出するロータリエンコーダとを有する回転機構を具備し、該回転する磁気ディスクの全面に対して、適当な低角度でほぼ平行な白色の光束を投射する光源と、該磁気ディスクの中心孔とその前後の領域に対して、該光束を遮光する遮光板とを有する投光系と、前記磁気ディスクの垂直上方に設けられ、前記光束が投射された領域を、該磁気ディスクの一定の回転角度ごとに受像するCCDカメラを有する受光系、および、該一定の回転角度ごとの該CCDカメラの各映像信号を処理して、前記テクスチャ処理面の乱反射光によるテクスチャ信号成分を除去し、該磁気ディスクの表面に存在するスクラッチ傷の大きさを検出し、該大きさの各データに対してそれぞれの座標値を付加して出力するデータ処理部とにより構成されたことを特徴とする、磁気ディスクのスクラッチ傷検査装置。
IPC (2)：
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