Pat
J-GLOBAL ID：200903063121263260
精密洗浄方法及び装置
Inventor：
,
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：
栂村 繁郎 (外1名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1993323334
Publication number (International publication number)：1995155709
Application date： Nov. 30, 1993
Publication date： Jun. 20, 1995
Summary：
【要約】 (修正有)【目的】 洗浄効果を向上させる。【構造】 オゾンガス及び酸素ガスを溶解させた純水で被洗浄物を洗浄する精密洗浄方法、及びオゾンガス及び酸素ガスを溶解させた純水を被洗浄物に噴射する噴射ノズルを設け、噴射ノズルに超音波振動子を付加したこと、更に噴射ノズルを洗浄を行う回転ブラシの上流側に設置した精密洗浄装置及びオゾンガス及び酸素ガスを溶解させた純水を被洗浄物を浸漬させる洗浄槽に収容し、洗浄槽に超音波振動子を付加した精密洗浄装置。
Claim (excerpt)：
オゾンガス及び酸素ガスを溶解させた純水で被洗浄物を洗浄することを特徴とする精密洗浄方法。
IPC (2)：
Patent cited by the Patent：
Cited by examiner (7)
Show all
Return to Previous Page
