Pat

J-GLOBAL ID：200903063131829636

脱気水の製造方法及び脱気水製造用モジュール

Inventor： 高武 正義 ,  富田 康司 ,  飯島 理恵
Applicant, Patent owner： 大日本インキ化学工業株式会社
Agent (1)： 高橋 勝利
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1992288710
Publication number (International publication number)：1994134446
Application date： Oct. 27, 1992
Publication date： May. 17, 1994
Summary：

【要約】【構成】脱気すべき水の流路間隔が190μm以下、好ましくは60〜150μm隔膜式脱気水製造用モジュールを用い、その気相側を液相側に流した水の飽和水蒸気圧以下に減圧しつつ液相側に脱気すべき水を流して脱気することを特徴とする脱気水の製造方法及び脱気水製造用モジュール。【効果】本発明の脱気水の製造方法により、溶存酸素濃度50ppb以下、好ましくは10ppb以下の超純水を従来の方法と比較して、小型で単純な装置で容易に、かつ低コストで多量に生産可能である。

Claim (excerpt)：

脱気すべき水の流路間隔が190μm以下の隔膜式脱気水製造用モジュールを用い、その気相側を減圧しつつ液相側に脱気すべき水を流して脱気することを特徴とする脱気水の製造方法。

IPC (5)：

C02F 1/20 ,  B01D 19/00 ,  B01D 19/00 101 ,  B01D 63/02 ,  B01D 71/26