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J-GLOBAL ID：200903063134915479

加速度センサ

Inventor： イーリ マレク ,  ディートリッヒ シューベルト ,  ヘルムート バウマン ,  ホルスト ミュンツェル ,  ミヒャエル オッフェンベルク ,  マルティン ヴィルマン
Applicant, Patent owner： ローベルト ボツシユ ゲゼルシヤフト ミツト ベシユレンクテル ハフツング
Agent (1)： 矢野 敏雄 (外2名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1993250432
Publication number (International publication number)：1994201719
Application date： Oct. 06, 1993
Publication date： Jul. 22, 1994
Summary：

【要約】【目的】 加速度センサの中空室内に規定された圧力を封入し得るようにする。【構成】 3つの上下に重なったシリコン板1・2・3の中央のシリコン板2に可動要素4が形成されている。これによって形成された中空室5は加速度センサの製作の際に外側のシリコン板3に形成されている穴6によって排気される。穴6は別の板10によって閉鎖されている。

Claim (excerpt)：

中央のシリコン板(2)と2つの外側のシリコン板(1・3)とを有する加速度センサであって,中央のシリコン板(2)には,中央のシリコン板(2)に固定されていてセンサの加速度によって可動である要素(4)が形成されており,この可動要素(4)は3つのシリコン板(1・2・3)によって形成されている中空室(5)内に封入されており,外側のシリコン板(1・3)がこの中空室(5)の壁を形成している形式のものにおいて,外側のシリコン板(1・3)の少なくとも一方が1つの別の板(10〜13)と結合されており,この少なくとも一方の外側のシリコン板によって形成されている中空室(5)の壁に穴(6)が形成されていて,この穴(6)は別の板(10〜13)によって気密に閉じられていることを特徴とする加速度センサ。

IPC (3)：

G01P 15/02 ,  G01P 15/125 ,  H01L 29/84