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J-GLOBAL ID：200903063139177816

X線露光装置

Inventor： 藤田 佳児
Applicant, Patent owner： 松下電器産業株式会社
Agent (1)： 小鍜治 明 (外2名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1991248828
Publication number (International publication number)：1993090132
Application date： Sep. 27, 1991
Publication date： Apr. 09, 1993
Summary：

【要約】【目的】 高精度かつ高スループットが得られるX線露光装置を提供することを目的としている。【構成】 X線露光装置本体とこの露光装置にウェハを供給するウェハ供給部分に雰囲気に置換するロードロック室において、ロードロック室内の温度変化を測定する温度検出素子1と、ロードロック室内の圧力を計る圧力検出素子2とロードロック室に任意な温度のHeを供給することのできる温度調節機能の付いたHe供給部3と、PWMで動作するHe供給バルブ4と、同じくPWMで動作する真空バルブ5と備えたことにより高精度かつ高スループットが得られる。

Claim (excerpt)：

X線露光装置本体にウェハを供給するウェハ供給部分として、雰囲気を置換する機能を持つロードロック室を配置したX線露光装置において、このロードロック室内に、温度検出素子と、圧力検出素子と、温度調節機能の付いたHe供給部と、Heを前記He供給部からロードロック室に導入する、パルス幅変調(以後PWMと略す)で動作可能なバルブと、同じくPWMで動作可能な真空バルブとを備えたことを特徴とするX線露光装置。

IPC (3)：

H01L 21/027 ,  G03F 7/20 503 ,  G03F 7/20 521