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J-GLOBAL ID：200903063175775940
エッチング終点判定方法
Inventor：
,
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：
小川 勝男
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1993334952
Publication number (International publication number)：1995201815
Application date： Dec. 28, 1993
Publication date： Aug. 04, 1995
Summary：
【要約】【目的】エッチング中の発光スペクトル強度に乗ったノイズによるエッチング終点の誤判定を防止する。【構成】発光スペクトル強度の二次微分値がしきい値を越えから、その後ゼロになるまでの時間が予め設定している時間より長ければエッチング終点とみなす。【効果】プラズマ処理中の発光スペクトル強度にパルス状のノイズが発生してもノイズによるエッチング終点の誤判定はせず、正常にエッチング終点が判定できる。
Claim (excerpt)：
発光分光法を用いて入力した処理室からの発光スペクトル強度を時間により二次微分し、前記二次微分値を予め設定したしきい値と比較して、前記二次微分値が前記しきい値と同符号で、かつ前記二次微分値の絶対値が前記しきい値の絶対値をこえ、その後、前記二次微分値の絶対値がゼロになったことを検出して、エッチングの終点を判定する方法において、前記二次微分値が前記しきい値と同符号で、かつ前記二次微分値の絶対値が前記しきい値の絶対値をこえてから予め設定した時間を経過し、その後前記二次微分値の絶対値がゼロになったことを検出してエッチングの終点とすることを特徴とするエッチング終点判定方法。
IPC (2)：
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