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J-GLOBAL ID:200903063183211622

X線検査装置

Inventor:
Applicant, Patent owner:
Agent (2): 吉田 研二 ,  石田 純
Gazette classification:公開公報
Application number (International application number):2002325060
Publication number (International publication number):2004157076
Application date: Nov. 08, 2002
Publication date: Jun. 03, 2004
Summary:
【課題】X線検査装置において、被検体の載置される位置の違いによって生じる透過画像の誤差を無くし、より精度が高く、かつ迅速に対象物の欠陥のサイズや位置を把握することを目的とする。【解決手段】本発明にかかるX線検査装置は、被検体にX線を照射する照射手段と、被検体を透過したX線を検出する検出素子が、所定間隔に遮蔽壁を介して複数配置された検出手段と、検出手段で検出するX線情報をもとに、前記被検体の透過画像を生成する生成手段とを備えるX線検査装置であって、前記検出素子の配置方向に被検体と検出手段とを相対的に所定間隔変位させる変位手段を備え、前記生成手段は、複数の変位位置で検出したX線情報を合成することで、透過画像を生成する。【選択図】 図1
Claim (excerpt):
被検体にX線を照射する照射手段と、 被検体を透過したX線を検出する検出素子が、所定間隔に遮蔽壁を介して複数配置された検出手段と、 検出手段で検出するX線情報をもとに、前記被検体の透過画像を生成する生成手段と、 を備えるX線検査装置であって、 前記検出素子の配置方向に被検体と検出手段とを相対的に所定間隔変位させる変位手段を備え、 前記生成手段は、複数の変位位置で検出したX線情報を合成することで、透過画像を生成することを特徴とするX線検査装置。
IPC (1):
G01N23/04
FI (1):
G01N23/04
F-Term (13):
2G001AA01 ,  2G001BA11 ,  2G001CA01 ,  2G001DA07 ,  2G001GA06 ,  2G001HA07 ,  2G001HA13 ,  2G001JA06 ,  2G001JA09 ,  2G001JA13 ,  2G001KA03 ,  2G001PA01 ,  2G001PA11

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