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J-GLOBAL ID：200903063223342369

エッチングあるいはコーティング装置

Inventor： ベレルディック クラウス ドクター
Applicant, Patent owner： バルツェルス アクチェンゲゼルシャフト
Agent (1)： 青木 朗 (外4名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1991165369
Publication number (International publication number)：1993171470
Application date： Jul. 05, 1991
Publication date： Jul. 09, 1993
Summary：

【要約】【目的】 出来るだけ構造がコンパクトで、従来の欠点を除去したエッチングあるいはコーティング装置を得る事を目的とする。【構成】 真空レシーバー(1)とレシーバー(1)内に容量的にプラズマを発生させる互いに離れた1対の電極(5、9)とを有するエッチングあるいはコーティング装置において、レシーバーを包み込む壁(3)が互いに絶縁された(7)2つの部分(5、9)に分割され、両部分は内側に位置し電極面(FA 、FB)として用いられる面に電気的に信号を伝達するのに用いられ、その場合にレシーバーの壁(3)の分割によってどの電極(5、9)がエッチングされ、ないしはどれがコーティングされるかが制御され、並びにプラズマ放電の点火あるいは間欠的駆動が行われる。

Claim (excerpt)：

真空レシーバー(1、20)と、真空レシーバー内で容量的にプラズマ放電を発生させる互いに離れた1対の電極(5、9;17、19;17a、19a、17b、19b)とを備えたエッチングあるいはコーティング装置において、レシーバーを包囲する壁(3)が互いに絶縁された(7)2つの部分(5、9)に分割され、両者が電極面(FA 、FB )として用いられる内側の面に電気的に信号を伝達するのに用いられ、どちらの電極(5、9)がエッチングされるか、ないしはどちらの電極がコーティングされるか、がレシーバーの壁(3)の分割と共に制御されることを特徴とするエッチングあるいはコーティング装置。

IPC (3)：

C23F 4/00 ,  C23C 14/32 ,  H01L 21/302

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (4)

• 特開昭60-079726
  
• 特開平1-246375
  
• 特開昭63-174321
  
• 特開昭62-158330