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J-GLOBAL ID：200903063224548386

電子部品の欠陥修復方法および欠陥修復装置

Inventor： 川村 哲也 ,  佐野 浩 ,  古田 守 ,  ▲よし▼岡 達男 ,  宮田 豊
Applicant, Patent owner： 松下電器産業株式会社
Agent (1)： 小鍜治 明 (外2名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1992259552
Publication number (International publication number)：1994110069
Application date： Sep. 29, 1992
Publication date： Apr. 22, 1994
Summary：

【要約】【目的】 本発明は、欠陥修復(リペア)方法に関するものであり、LCD等の電子部品の歩留まりを改善することを目的とする。【構成】 誘電体を挟んで重なり合う複数の電極配線部を有する電子部品(LCD等)において、あらかじめ重なり合う部分の構成要素を複数個並列に設けておき、リ-ク電流が通常より大きい欠陥部位をレ-ザ-顕微鏡のOBIC像を用いて正確に検出した後、欠陥部位を修復する。

Claim (excerpt)：

2つ以上の電極配線が誘電体を挟んで重なり合う部分を有する電子部品において、前記電極配線の重なり合う部分を複数個並列に設けておき、OBIC像を用いて前記電極配線の重なり合う部分の中からリ-ク電流が異常な欠陥部位を検出した後、前記欠陥部位を修復する電子部品の欠陥修復方法。

IPC (4)：

G02F 1/1343 ,  G01R 31/02 ,  G01R 31/302 ,  G02F 1/13 101