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J-GLOBAL ID：200903063241392187
加速度センサ
Inventor：
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Applicant, Patent owner：
,
Agent (1)：
小川 勝男
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1996255815
Publication number (International publication number)：1998104265
Application date： Sep. 27, 1996
Publication date： Apr. 24, 1998
Summary：
【要約】【課題】可動電極部に充填剤が流れ込むことを防ぎ、動作不良と溝内部での異物による短絡の発生を防止する。【解決手段】可動電極側溝部8に設けてある堤防状の浅溝部10に対し、反対側の外部端子側溝部9の一部に溝の浅い部分11と更にその浅溝11の一部に充填剤の流出量を制御するための通路を組み合わせる。
Claim (excerpt)：
可動電極となる質量部が形成された半導体板状部材の両面を、少なくとも一方に固定電極を形成した2枚のガラス板で積層し、前記固定電極と外部端子間の接続路を有し、前記接続路と前記半導体部材との接触を避けるために溝部とスルーホールを設け、前記スルーホールから前記溝部に充填剤を充填していることを特徴とする加速度センサ。
IPC (2)：
FI (2)：
G01P 15/125
, H01L 29/84 Z
