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J-GLOBAL ID：200903063254759837

六フッ化硫黄の精製方法

Inventor： 大野 博基 ,  中條 哲夫 ,  大井 敏夫 ,  丸茂 国臣
Applicant, Patent owner： 昭和電工株式会社 ,  株式会社日立製作所 ,  株式会社日立エンジニアリングサービス
Agent (2)： 志賀 正武 (外2名) ,  志賀 正武 (外1名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1997109866
Publication number (International publication number)：1998297910
Application date： Apr. 25, 1997
Publication date： Nov. 10, 1998
Summary：

【要約】【課題】 不純物を含む六フッ化硫黄から簡便かつ効率的に有害不純物を除去する六フッ化硫黄の精製方法を得る。【解決手段】 不純物を含む六フッ化硫黄を、アルカリ土類金属化合物、アルミン酸アルカリ金属塩およびテトラアルキルアンモニウム塩からなる群から選ばれた1種以上の化合物と炭素質固体とからなる精製剤と接触させる。

Claim (excerpt)：

不純物を含む六フッ化硫黄を、アルカリ土類金属化合物、アルミン酸アルカリ金属塩およびテトラアルキルアンモニウム塩からなる群から選ばれた1種以上の化合物と炭素質固体とからなる精製剤と接触させる六フッ化硫黄の精製方法。

IPC (2)：

C01B 17/45 ,  B01D 53/02

FI (2)：

C01B 17/45 A ,  B01D 53/02 Z