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J-GLOBAL ID：200903063259200510

SPM用探針評価用標準試料及びその製造方法

Inventor： 梅原 康敏
Applicant, Patent owner： 株式会社アドバンテスト
Agent (1)： 草野 卓 (外1名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1992265951
Publication number (International publication number)：1994117845
Application date： Oct. 05, 1992
Publication date： Apr. 28, 1994
Summary：

【要約】【目的】 SPM用探針を評価する為の標準試料を容易に、かつ正確に作る。【構成】 4N以上の単結晶アルミニュウム基板11を鏡面研磨し(A)、研磨した面を20°Cの3%蓚酸浴、化成電圧50Vで陽極酸化して厚さ4μmのポーラス皮膜12を形成する(B)。これを30°Cの1%燐酸浴に10分間浸けて入れ、ポーラス皮膜12の各穴13を拡大し(C)、更に1%燐酸浴に入れて10mA/dm2 で一定電圧になるまで保持して陽極酸化をして穴13の底部を均一な薄い酸化膜とし(D)、これに対して20°Cの1mol/l硫酸ニッケルと30g/l 硼酸浴に入れて交流でニッケルを電解析出して穴13内にニッケルを埋め込む(E)、その埋め込んだ穴の面をコロイダルシリカで削り込んで約2μmの厚さとして表面仕上げをし(F)、これを65°C、30ml/l燐酸と35g/l 酸化クロムの浴に30秒入れて、酸化膜14を選択的にエッチングしてニッケル15を10nm突出させて標準試料を得る。

Claim (excerpt)：

アルミニュウム基板の一面がほぼ鏡面とされており、その鏡面とされている面には陽極酸化によるポーラスが形成されていることを特徴とするSPM用探針評価用標準試料。

IPC (5)：

G01B 21/30 ,  C23F 1/02 ,  C25D 11/18 ,  C25D 11/20 302 ,  G01B 7/34