Pat
J-GLOBAL ID：200903063262412463
感放射線性樹脂組成物
Inventor：
,
,
,
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：
大島 正孝
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1992036986
Publication number (International publication number)：1993204158
Application date： Jan. 29, 1992
Publication date： Aug. 13, 1993
Summary：
【要約】【目的】高感度、高解像度、高耐熱性であり、かつ基板に対する接着性と耐酸性に優れたポジ型レジストを得ることができる感放射線性樹脂組成物を提供すること。【構成】アルカリ可溶性樹脂、1,2-キノンジアジド化合物 および例えば下記式(1)【化1】で表わされる化合物を含有する感放射線性樹脂組成物。
Claim (excerpt)：
アルカリ可溶性樹脂、1,2-キノンジアジド化合物 および下記一般式(1)【化1】で表わされる化合物を含有することを特徴とする感放射線性樹脂組成物。
IPC (5)：
G03F 7/039 501
, G03F 7/004 503
, G03F 7/022
, G03F 7/075 501
, H01L 21/027
Cited by examiner (8)
Show all
Return to Previous Page
