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J-GLOBAL ID：200903063285462514
ベッセルビーム走査装置
Inventor：
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：
亀井 弘勝 (外1名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1993327966
Publication number (International publication number)：1995182439
Application date： Dec. 24, 1993
Publication date： Jul. 21, 1995
Summary：
【要約】【構成】ビーム出射部11からは断面が円環状のレーザビームLが出射される。このレーザビームLはアキシコンレンズ12に入射される。アキシコンレンズ12からのレーザビームLは、中央に穴17が開いた中空鏡13で反射され、さらにポリゴンミラー14によって反射された後に、走査対象1に導かれる。アキシコンレンズ12の働きによって、走査対象1の付近では、円環状のレーザビームLが干渉しあい、ベッセルビームが生成される。走査対象1からの反射光のうち、円環状のレーザビームLの中空部に対応する経路を伝搬してきた光は、穴17を通過して、レンズ18を通って受光素子20に導かれる。【効果】レーザビームLの外径に対応する大きさの中空鏡13を用いて、レーザビームLと反射光とを分離できる。そのため、装置全体を小型化できる。
Claim (excerpt)：
断面が環状の光ビームを出射するビーム出射手段と、このビーム出射手段から出射された光ビームをベッセルビームに変換するビーム変換手段と、このビーム変換手段からの光ビームを走査対象に導いて、この走査対象の表面を上記ビーム変換手段の働きによって形成されるベッセルビームによって走査する走査手段と、上記ビーム出射手段から出射される断面が環状の光ビームと、この光ビームの中空部に相当する経路を通る光とを分離することによって、上記ビーム出射手段から走査対象に向けて導かれる光ビームと、上記走査対象からの反射光とを分離する分離手段と、上記分離手段によって分離された上記走査対象からの反射光を受光して電気信号に変換する受光手段とを含むことを特徴とするベッセルビーム走査装置。
IPC (2)：
G06K 7/10
, G02B 26/10 101
