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J-GLOBAL ID：200903063290143150

気体透過防止膜被覆プラスチック容器の製造方法

Inventor： 山越 英男 ,  阿部 隆夫 ,  加藤 光雄 ,  上田 敦士 ,  田中 良治 ,  小林 巧
Applicant, Patent owner： 三菱重工業株式会社
Agent (6)： 鈴江 武彦 ,  村松 貞男 ,  坪井 淳 ,  橋本 良郎 ,  河野 哲 ,  風間 鉄也
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2002279451
Publication number (International publication number)：2004115853
Application date： Sep. 25, 2002
Publication date： Apr. 15, 2004
Summary：

【課題】プラスチック容器内面に不純物の混入がなく、高いバリヤ性を有する気体透過防止膜被覆プラスチック容器の製造方法を提供する。【解決手段】プラスチック容器内のガスを排気する工程と、ガス排気を続行しながら、プラスチック容器内に上流側からマスフローコントローラおよびバルブをこの順序で介装した配管を通して原料ガスを供給する工程と、ガス排気を続行しながら、プラスチック容器内にプラズマを発生させて原料ガスを解離してプラスチック容器内面に気体透過防止被膜を形成する工程を含み、マスフローコントローラの流量制御を行なった後にバルブを開けてマスフローコントローラとバルブ間の配管部分で発生する高圧原料ガスを供給すると共に、その供給時点をガス排気によりプラスチック容器内のガス圧力が成膜圧力より高真空(成膜圧力を含まず)、到達真空度より(到達真空度を含まず)低真空の範囲に設定する。【選択図】 図2

Claim (excerpt)：

被処理物であるプラスチック容器内のガスを排気する工程と、このガス排気を続行しながら、前記プラスチック容器内に上流側からマスフローコントローラおよびバルブをこの順序で介装した配管を通して原料ガスを供給する工程と、前記ガス排気を続行しながら、前記プラスチック容器内にプラズマを発生させて前記原料ガスを解離して前記プラスチック容器内面に気体透過防止被膜を形成する工程を含む気体透過防止膜被覆プラスチック容器の製造方法であって、 前記マスフローコントローラの流量制御を行なった後に前記バルブを開けてマスフローコントローラとバルブ間の前記配管部分で発生する高圧原料ガスを利用して前記原料ガスを前記プラスチック容器内に供給すると共に、その供給時点を前記ガス排気により前記プラスチック容器内のガス圧力が成膜圧力より高真空(成膜圧力を含まず)から到達真空度より(到達真空度を含まず)低真空の範囲に設定することを特徴とする気体透過防止膜被覆プラスチック容器の製造方法。

IPC (3)：

C23C16/505 ,  B65D23/02 ,  C23C16/26

FI (4)：

C23C16/505 ,  B65D23/02 Z ,  C23C16/26 ,  B65D1/00 C

F-Term (23)：

3E033AA02 ,  3E033BA18 ,  3E033BB08 ,  3E033CA16 ,  3E033DB01 ,  3E033DD01 ,  3E033EA20 ,  3E033GA02 ,  3E062AA09 ,  3E062AB02 ,  3E062AC02 ,  3E062JA01 ,  3E062JA07 ,  3E062JB22 ,  3E062JC01 ,  3E062JD01 ,  4K030AA09 ,  4K030AA16 ,  4K030BA27 ,  4K030CA07 ,  4K030CA15 ,  4K030FA01 ,  4K030LA24