基準板,表面検査装置の調整方法及び表面検査装置用調整装置

Inventor： , , ,
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：鈴江武彦 (外4名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1999361180
Publication number (International publication number)：2001174414
Application date： Dec. 20, 1999
Publication date： Jun. 29, 2001
Summary：

【要約】【課題】表面検査装置のカメラの視野の回転ズレ及び長手方向ズレを確認する。【解決手段】表面に前記カメラの視野範囲以上の長さの基準線を中心にして上下に互い違いに三角形が描かれたパターン31を具備してなる。

Claim (excerpt)：

被検査体に対して光を照射し、該被検査体からの反射光をカメラで受光し、受光した光を解析して該被検査体の表面に存在する表面疵を検出する表面検査装置の調整に用いられる基準板であって、表面に前記カメラの視野範囲以上の長さの基準線を中心にして上下に互い違いに三角形が描かれたパターンを具備してなることを特徴とする基準板。

IPC (5)：

G01N 21/892 , G01B 11/00 , G01B 11/26 , G01N 21/93 , G05D 3/12

FI (5)：

G01N 21/892 B , G01B 11/00 H , G01B 11/26 H , G01N 21/93 , G05D 3/12 L

F-Term (50)：

2F065AA12 , 2F065AA31 , 2F065AA39 , 2F065BB13 , 2F065BB28 , 2F065CC06 , 2F065EE00 , 2F065EE03 , 2F065EE09 , 2F065FF42 , 2F065FF49 , 2F065FF61 , 2F065HH12 , 2F065JJ02 , 2F065JJ05 , 2F065JJ08 , 2F065JJ25 , 2F065LL12 , 2F065LL21 , 2F065LL32 , 2F065NN20 , 2F065PP12 , 2F065QQ05 , 2F065QQ17 , 2F065QQ18 , 2F065QQ23 , 2F065QQ25 , 2F065QQ28 , 2F065QQ30 , 2G051AA37 , 2G051AA90 , 2G051AB07 , 2G051AB20 , 2G051CA03 , 2G051DA06 , 2G051EA11 , 2G051EA14 , 2G051EA16 , 2G051EB01 , 2G051EC02 , 5H303AA20 , 5H303BB01 , 5H303BB06 , 5H303BB11 , 5H303DD01 , 5H303EE03 , 5H303EE07 , 5H303FF13 , 5H303GG12 , 5H303HH02

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (3)

撮像装置の視野位置ずれ調整用被写体
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平9-199055 Applicant：富士電機株式会社
特開昭62-157764
特開昭62-157760

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