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J-GLOBAL ID:200903063318801905
CT用固体検出器
Inventor:
Applicant, Patent owner:
Agent (1):
西岡 義明
Gazette classification:公開公報
Application number (International application number):1998104497
Publication number (International publication number):1999295431
Application date: Apr. 15, 1998
Publication date: Oct. 29, 1999
Summary:
【要約】【課題】シンチレータとホトダイオードモジュールの高精度の光学的な加工技術、位置決め等を必要としないCT用固体検出器を提供する。【解決手段】チャンネル数の正電極用金属パターン4を一体型絶縁基板9上に設け、その上にスパッタ法やCVD法で入射X線量に応じて電気信号を取り出すことのできるX線変換膜3(CdTe等)を成膜し、さらに表面にAlまたはAu等で負電極用金属膜2をスパッタ法で成膜する。そして、その上層に入射するX線をX線変換膜3に各チャンネル毎に等量になるようにマスクすることができるX線遮蔽物質1(WやMo等)をCVD法で作成する。このようにして製作した検出器部を基台に取り付け、散乱線遮蔽プレート12を保持している支持板と組み合わせる。
Claim (excerpt):
X線CT装置の固体検出器において、検出器チャンネル数に対応する電極パターンを有する絶縁基板と、該絶縁基板上に入射X線量に応じて電気信号を出力することのできるX線変換膜と、電極膜とを備え、該電極膜上で電極パターン間に位置する部分にX線遮蔽物質を形成し、該X線遮蔽物質の幅よりも厚さの薄い散乱線遮蔽プレートを上方に備えることを特徴とするCT用固体検出器。
IPC (2):
G01T 1/20
, A61B 6/03 320
FI (2):
G01T 1/20 G
, A61B 6/03 320 R
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