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J-GLOBAL ID：200903063339872144

カンチレバー型変位素子、及びこれを用いたカンチレバー型プローブ、及びこのカンチレバー型プローブを用いた走査型トンネル顕微鏡、情報処理装置

Inventor： 鈴木 義勇 ,  川崎 岳彦 ,  山本 敬介
Applicant, Patent owner： キヤノン株式会社
Agent (1)： 豊田 善雄 (外1名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1992129336
Publication number (International publication number)：1993296713
Application date： Apr. 23, 1992
Publication date： Nov. 09, 1993
Summary：

【要約】【目的】 信頼性、耐久性の高いカンチレバー型変位素子及びカンチレバー型プローブ、さらには、これらを用いた走査型トンネル顕微鏡及び情報処理装置を提供する。【構成】 圧電体膜と電極とを積層してなるカンチレバー型変位素子において、上記圧電体膜の、結晶粒よりなる柱状組織を、膜厚方向に対して傾斜させ、強度的に最も弱い膜厚方向と一致させないことにより、機械的強度を高め耐久性を向上させることができた。また、上記素子にて作製したカンチレバー型プローブを用いた走査型トンネル顕微鏡、情報処理装置は高速処理が可能で、かつ信頼性の高い装置となる。

Claim (excerpt)：

圧電体膜と、該圧電体膜を逆圧電効果により変位させるための電極とを積層してなるカンチレバー型変位素子において、少なくとも一層の圧電体膜では結晶粒よりなる柱状組織を、膜厚方向に対して傾斜させたことを特徴とするカンチレバー型変位素子。

IPC (4)：

G01B 7/34 ,  G11B 9/00 ,  H01J 37/28 ,  H01L 41/09