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J-GLOBAL ID：200903063354273281

マイクロ構造体、マイクロ力学量センサ、マイクロアクチュエータ、マイクロ光偏向器、光走査型ディスプレイ、及びそれらの製造方法

Inventor： 加藤 貴久 ,  安田 進 ,  廣瀬 太 ,  八木 隆行 ,  水谷 英正 ,  島田 康弘
Applicant, Patent owner： キヤノン株式会社
Agent (1)： 加藤 一男
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2001278956
Publication number (International publication number)：2002321196
Application date： Sep. 14, 2001
Publication date： Nov. 05, 2002
Summary：

【要約】【課題】比較的ねじれやすくて、ねじれの軸に角度を成す方向に対して撓みにくいトーションスプリングで揺動自由に支持された揺動体を有するマイクロ構造体である。【解決手段】マイクロ構造体は、基板120と、少なくとも一つ以上の揺動体130を有し、揺動体130が1本以上のトーションスプリング122、124によって基板120に対して弾性的に揺動自由に支持されている。トーションスプリング122、124は、その長軸に垂直な面の断面形状が回転対称形状であり、且つ実質的に扁平な形状部分の組み合わせで構成され、扁平な形状部分は最も撓みやすい方向が交差するように配置されている。

Claim (excerpt)：

基板と、少なくとも一つ以上の揺動体を有し、前記揺動体が1本以上のトーションスプリングによって前記基板に対して弾性的に揺動自由に支持されているマイクロ構造体において、前記トーションスプリングは、その長軸に垂直な面の断面形状が回転対称形状であり、且つ実質的に扁平な形状部分の組み合わせで構成され、該扁平な形状部分は最も撓みやすい方向が交差するように配置されていることを特徴とするマイクロ構造体。

IPC (7)：

B81B 3/00 ,  B81B 1/00 ,  B81C 1/00 ,  G01P 15/125 ,  G02B 5/18 ,  G02B 26/08 ,  G02B 26/10 104

FI (7)：

B81B 3/00 ,  B81B 1/00 ,  B81C 1/00 ,  G01P 15/125 ,  G02B 5/18 ,  G02B 26/08 E ,  G02B 26/10 104 Z

F-Term (15)：

2H041AA12 ,  2H041AB14 ,  2H041AC04 ,  2H041AZ01 ,  2H041AZ08 ,  2H045AB06 ,  2H045AB10 ,  2H045AB16 ,  2H045AB73 ,  2H049AA06 ,  2H049AA37 ,  2H049AA44 ,  2H049AA50 ,  2H049AA68 ,  2H049AA69