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J-GLOBAL ID：200903063390376933

圧電体構造物およびその製造方法

Inventor： 神戸 由美 ,  三好 春子 ,  日比野 真吾 ,  伊佐治 雅久
Applicant, Patent owner： 東海ゴム工業株式会社
Agent (1)： 大家 邦久 (外1名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1997203778
Publication number (International publication number)：1999031857
Application date： Jul. 14, 1997
Publication date： Feb. 02, 1999
Summary：

【要約】【解決課題】 水熱合成法により圧電特性の良い圧電体構造物およびその製造方法を提供する。【解決手段】 表面に酸化チタン層を有するチタン金属基板上、または表面に酸化チタン層を有するチタン金属膜を形成した弾性体基板上に、水熱合成法により合成した、チタンを含有する複合酸化物薄膜を形成してなる圧電体構造物、およびその圧電体構造物の製造方法。

Claim (excerpt)：

表面に酸化チタン層を有するチタン金属基板上に、水熱合成法によりチタンを含有する複合酸化物薄膜を形成してなる圧電体構造物。

IPC (5)：

H01L 41/187 ,  C30B 7/10 ,  C30B 29/32 ,  H01L 41/09 ,  H01L 41/24

FI (5)：

H01L 41/18 101 D ,  C30B 7/10 ,  C30B 29/32 A ,  H01L 41/08 C ,  H01L 41/22 A