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J-GLOBAL ID：200903063395789969
CCD固体撮像装置およびその製造方法
Inventor：
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：
前田 弘 (外2名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1994226120
Publication number (International publication number)：1996097392
Application date： Sep. 21, 1994
Publication date： Apr. 12, 1996
Summary：
【要約】【目的】 スミアの増大をおこすことなく光感度の向上を実現できる、CCD固体撮像装置を提供する。【構成】 フォトダイオード部を構成するn型拡散層13の上に、欠陥によるノイズを低減するためのノイズ低減用p型拡散層14が形成されている。ノイズ低減用p型拡散層14は、受光面側に形成された不純物濃度が相対的に高い高濃度領域14aとフォトダイオード部側に形成された不純物濃度が相対的に低い低濃度領域14bとからなる。この構造により、受光時の電位分布が受光面近傍において常に正の勾配をもち、光電効果により発生した信号電荷がスミア成分となる確率が押さえられる。そのため、光感度を向上させるためにノイズ低減用p型拡散層14の不純物濃度を下げても、スミアが増大することがない。
Claim (excerpt)：
n型不純物拡散層を有し光電変換により信号電荷を生成するフォトダイオード部と、信号電荷を転送する電荷転送部と、前記フォトダイオード部のn型不純物拡散層の上に形成されノイズを低減するためのノイズ低減用p型不純物拡散層とを備えたCCD固体撮像装置において、前記ノイズ低減用p型不純物拡散層は、受光面側に形成された不純物濃度が相対的に高い高濃度領域とフォトダイオード部側に形成された不純物濃度が相対的に低い低濃度領域とからなることを特徴とするCCD固体撮像装置。
IPC (2)：
Patent cited by the Patent：
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