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J-GLOBAL ID：200903063407550983

磁気記録媒体用シリコン基板及びその製造方法並びに磁気記録媒体

Inventor：
会田 克昭

About 会田 克昭


Applicant, Patent owner：
昭和電工株式会社

About 昭和電工株式会社


Agent (7)： 志賀 正武 ,  高橋 詔男 ,  渡邊 隆 ,  青山 正和 ,  鈴木 三義 ,  西 和哉 ,  村山 靖彦
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2005122175
Publication number (International publication number)：2006079800
Application date： Apr. 20, 2005
Publication date： Mar. 23, 2006
Summary：
【課題】 材質の脆いシリコン基板においても基板端面の欠けや基板の割れが発生し難い基板を提供して、基板端面からの発塵を防止し、プロセスカセットとのこすれによる発塵を防止できる基板を提供する。【解決手段】 基板の主表面と端面との間に面取り部を設けた磁気記録媒体用のシリコン基板であって、該基板の端面及び面取り部が鏡面であり、前記基板の主表面と面取り部との間に半径0.01mm以上0.3mm未満の曲面を介在させる。曲面を形成するにはシリコン基板とスペーサーとを多数枚積層したシリコン基板積層体を準備して、基板の中心円孔内周と基板外周をブラシ研磨する。【選択図】 図2
Claim (excerpt)：
基板の主表面と端面との間に面取り部を設けた磁気記録媒体用のシリコン基板であって、該基板の端面及び面取り部が鏡面であり、前記基板の主表面と面取り部との間に半径0.01mm以上0.3mm未満の曲面を介在させたことを特徴とする磁気記録媒体用シリコン基板。
IPC (2)：
G11B 5/73 ,  G11B 5/84
FI (2)：
G11B5/73 ,  G11B5/84 A
F-Term (5)：
5D006CB04 ,  5D006CB07 ,  5D112AA02 ,  5D112BA02 ,  5D112GA10
Patent cited by the Patent：
Cited by applicant (3)

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