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J-GLOBAL ID：200903063419703904

蛍石とそれを用いた光学物品及びフォトリソグラフィー用の露光装置

Inventor： 大場 点 ,  市崎 敏夫
Applicant, Patent owner： キヤノン株式会社
Agent (1)： 福森 久夫
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1997068016
Publication number (International publication number)：1997315815
Application date： Mar. 21, 1997
Publication date： Dec. 09, 1997
Summary：

【要約】【課題】短波長で高出力の光を長期間繰り返し照射した場合であっても、透過率特性が劣化し難い蛍石、それよりなる光学部品及び該光学部品を用いたフォトリソグラフィー用の露光装置を提供すること。【解決手段】 135nmの波長の光に対する透過率が70%以上であり、ランタン(La)、イットリウム(Y)を含み、ランタン含有量が1ppm以下、イットリウム含有量が10ppm以下であることを特徴とする蛍石。この蛍石からなるエキシマレーザー用光学部品及びそれを用いたフォトリソグラフィー用露光装置。

Claim (excerpt)：

135nmの波長の光に対する透過率が70%以上であり、ランタン(La)、イットリウム(Y)を含み、ランタン含有量が1ppm以下、イットリウム含有量が10ppm以下であることを特徴とする蛍石。

IPC (4)：

C01F 11/22 ,  C30B 29/12 ,  G02B 1/00 ,  G03F 7/20 505

FI (4)：

C01F 11/22 ,  C30B 29/12 ,  G02B 1/00 ,  G03F 7/20 505