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J-GLOBAL ID：200903063436517359

マイクロ構造体の製造方法

Inventor： 柳生 裕聖 ,  林 茂彦 ,  田畑 修
Applicant, Patent owner： 三ツ星ベルト株式会社
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2003398780
Publication number (International publication number)：2005153124
Application date： Nov. 28, 2003
Publication date： Jun. 16, 2005
Summary：

【課題】 パウダーブラスト法を用いて複数の円錐形状を有するマイクロ構造体の製造方法を提供する。【解決手段】 パウダーブラスト法によるマイクロ構造体の製造方法において、被加工材表面上に金属微粒子分散液を含むポリウレタン樹脂組成物からなるマスク材を形成し、前記マスク材の少なくとも一部に格子状微細パターンに従ってレーザ光を照射することによって、前記格子状微細パターンに従った凹部と前記凹部以外の孤立した複数の島状部からなる微細パターンを形成し、前記各島状部の略中央部のみを残して周辺部が摩滅するような条件でパウダーブラスト加工し、前記各島状部を除去することを特徴とするマイクロ構造体の製造方法である。【選択図】 図1

Claim (excerpt)：

パウダーブラスト法によるマイクロ構造体の製造方法において、 被加工材表面上に金属微粒子分散液を含むポリウレタン樹脂組成物からなるマスク材を形成し、 前記マスク材の少なくとも一部に格子状微細パターンに従ってレーザ光を照射することによって、前記格子状微細パターンに従った凹部と前記凹部以外の孤立した複数の島状部からなる微細パターンを形成し、 前記各島状部の略中央部のみを残して周辺部が摩滅するような条件でパウダーブラスト加工し、 前記各島状部を除去することを特徴とするマイクロ構造体の製造方法。

IPC (2)：

B81C5/00 ,  B24C1/04

FI (2)：

B81C5/00 ,  B24C1/04 B

Patent cited by the Patent：

Cited by applicant (1)

• ガラス基板への微細孔の形成方法
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願2002-070014   Applicant：凸版印刷株式会社