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J-GLOBAL ID：200903063441646370
スキャナシステム
Inventor：
,
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：
鈴江 武彦
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1992329482
Publication number (International publication number)：1994174460
Application date： Dec. 09, 1992
Publication date： Jun. 24, 1994
Summary：
【要約】【目的】スキャナのX,Y,Z方向の非直線性を補正して、歪みがなく定量的に正確性の高い像を得ること。【構成】スキャナ1に向けて半導体レーザ8の光を照射し、フォトディテクタ4が上記半導体レーザ8の上記スキャナ1での反射光を受光する。そして、プリアンプ11が上記フォトディテクタ4のスポット位置を示す信号を出力し、演算回路12が上記出力信号に基づいて上記スキャナ1の変位状態を求め、当該変位状態を示す変位信号を出力する。さらに、スキャンコントローラ14が上記演算回路12からの変位信号に基づいて制御信号を生成し、非直線性補正部14aが該制御信号に所定の補正を加え、スキャナドライバ17がこの補正された制御信号に基づいて上記スキャナ1の電極に電圧印加を行い、当該電圧の印加状態に応じた変位を上記スキャナ1に生じさせる。
Claim (excerpt)：
複数の駆動電極を有するスキャナ手段と、上記スキャナ手段に向けて光を照射する光源と、上記光源光の上記スキャナ手段での反射光を受光する受光手段と、上記受光手段の受光位置を示す信号を出力する出力手段と、上記出力信号に基づいて上記スキャナの変位状態を求め、当該変位状態を示す変位信号を出力する演算手段と、上記演算手段からの変位信号に基づいて制御信号を生成し、当該制御信号に所定の補正を加える補正手段と、上記補正手段により補正された制御信号に基づいて上記スキャナ手段の駆動電極に電圧を印加し、当該電圧の印加状態に応じた変位を上記スキャナ手段に生じさせる駆動制御手段と、を具備することを特徴とするスキャナシステム。
IPC (3)：
G01B 21/30
, G02B 26/10 101
, H01J 37/28
