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J-GLOBAL ID：200903063460226683

研磨用パッド

Inventor： 高野 純三 ,  鈴木 恵子
Applicant, Patent owner： ソニー株式会社
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1995007846
Publication number (International publication number)：1996197434
Application date： Jan. 23, 1995
Publication date： Aug. 06, 1996
Summary：

【要約】【目的】 研磨加工中に発生するゴミが少ない研磨用パッドを提供する。【構成】 被加工物と接する研磨層15の材料として、多孔質発泡性樹脂とし、その表面に加熱プレス等のエンボス加工による凹溝18により、所望の模様を形成して成る研磨用パッド。【効果】 研磨層15の表面にもうけた凹溝がエンボス加工であるため、溝の端面からのゴミの発生が少なく、耐久性の良い研磨用パッドが得られた。

Claim (excerpt)：

被加工物と接する研磨層の表面に、エンボス加工による凹溝を多数設けて成る、研磨用パッド。

IPC (2)：

B24D 9/08 ,  B24D 13/14

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (4)

• 特開昭57-132967
  
• 特開昭56-126581
  
• 特開昭57-132967
  
• 特開昭56-126581