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J-GLOBAL ID：200903063494261402

レ-ザ照射装置およびその方法

Inventor： 岡 清
Applicant, Patent owner： 株式会社東芝
Agent (1)： 鈴江 武彦
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1994174375
Publication number (International publication number)：1996039283
Application date： Jul. 26, 1994
Publication date： Feb. 13, 1996
Summary：

【要約】【目的】 この発明は被加工物に対してレ-ザ光を能率よく照射することができるようにしたレ-ザ照射装置およびその方法を提供することにある。【構成】 被加工物21上でレ-ザ光をX方向とY方向とに走査させて照射するレ-ザ照射装置において、上記レ-ザ光を出力するレ-ザ装置11と、このレ-ザ装置から出力されたレ-ザ光が入射するとともにそのレ-ザ光を変調信号によって上記X方向とY方向とのどちらか一方の方向に走査させる光変調器14a〜14cと、この光変調器から出力されたレ-ザ光が入射する反射ミラ-23と、この反射ミラ-を揺動させて上記レ-ザ光を上記X方向とY方向との他方の方向に走査させるガルバノメ-タ24とを具備したことを特徴とする。

Claim (excerpt)：

被加工物上でレ-ザ光をX方向とY方向とに走査させて照射するレ-ザ照射装置において、上記レ-ザ光を出力するレ-ザ装置と、このレ-ザ装置から出力されたレ-ザ光が入射するとともにそのレ-ザ光を変調信号によって上記X方向とY方向とのどちらか一方の方向に走査させる光変調器と、この光変調器から出力されたレ-ザ光が入射する反射ミラ-と、この反射ミラ-を揺動させて上記レ-ザ光を上記X方向とY方向との他方の方向に走査させる駆動手段とを具備したことを特徴とするレ-ザ照射装置。

IPC (3)：

B23K 26/08 ,  B23K 26/00 ,  B23K 26/06