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J-GLOBAL ID：200903063499052771

ガスバリヤー性フィルム

Inventor： 福田 伸 ,  山崎 文晴 ,  福田 信弘
Applicant, Patent owner： 三井東圧化学株式会社
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1995093595
Publication number (International publication number)：1996281861
Application date： Apr. 19, 1995
Publication date： Oct. 29, 1996
Summary：

【要約】【構成】 透明高分子フィルムの少なくとも一つの主面に、少なくとも有機珪素化合物と酸素とを原料としたプラズマ化学蒸着法で形成した珪素酸化物層と、少なくともポリシラザンを含む液体を塗布後加熱処理して得られる珪素酸化物層とを積層してなるガスバリヤー性フィルム。【効果】 酸素透過率および水蒸気透過率ともの著しく低く、液晶ディスプレーの基板に好適に用いることができるガスバリヤー性フィルムを提供する。

Claim (excerpt)：

透明高分子フィルムの少なくとも一つの主面に、少なくとも有機珪素化合物と酸素とを原料としたプラズマ化学蒸着法で形成した珪素酸化物層と、少なくともポリシラザンを含む液体を塗布後加熱処理して得られる珪素酸化物層とを積層してなるガスバリヤー性フィルム。

IPC (5)：

B32B 9/00 ,  B32B 27/06 ,  C23C 16/40 ,  C23C 16/50 ,  G02F 1/1333 505

FI (5)：

B32B 9/00 A ,  B32B 27/06 ,  C23C 16/40 ,  C23C 16/50 ,  G02F 1/1333 505