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J-GLOBAL ID：200903063539435156

露光システム

Inventor： 宇井 武
Applicant, Patent owner： キヤノン株式会社
Agent (1)： 伊東 哲也 (外1名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1996112181
Publication number (International publication number)：1997283424
Application date： Apr. 10, 1996
Publication date： Oct. 31, 1997
Summary：

【要約】【課題】 ウエハのレジストコート処理から現像までの所要時間の短縮および均一化を図り、もって製品バラツキを減少させ、生産品質の向上を図る。【解決手段】 露光装置と、該露光装置に接続されているウエハ処理装置と、前記露光装置と前記ウエハ処理装置の間で通信を行なう通信手段からなる露光システムにおいて、前記露光装置および前記ウエハ処理装置の各処理時間をパラメータとして持ち、前記露光装置、前記ウエハ処理装置の動作タイミング、動作時間を解析および予想して、最適な露光シーケンスを行なう時間管理手段を設ける。

Claim (excerpt)：

露光装置と、該露光装置に接続されているウエハ処理装置と、前記露光装置と前記ウエハ処理装置の間で通信を行なう通信手段からなり、前記露光装置および前記ウエハ処理装置の各処理時間をパラメータとして持ち、前記露光装置、前記ウエハ処理装置の動作タイミング、動作時間を解析および予想して、最適な露光シーケンスを行なう露光システム。

IPC (2)：

H01L 21/027 ,  G03F 7/20 521

FI (3)：

H01L 21/30 502 G ,  G03F 7/20 521 ,  H01L 21/30 502 J