Pat

J-GLOBAL ID：200903063540566434

感放射線性樹脂組成物

Inventor： 八子 由子 ,  白川 政和
Applicant, Patent owner： 住友化学工業株式会社
Agent (1)： 久保山 隆 (外2名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2001355761
Publication number (International publication number)：2003156843
Application date： Nov. 21, 2001
Publication date： May. 30, 2003
Summary：

【要約】【課題】放射線に対する感度がより高く、可視光に対して透明性のより高い透明膜を形成し、かつ該透明膜が耐溶剤性に優れている感放射線性樹脂組成物を提供する。【解決手段】〔1〕カルボキシル基およびオキセタン骨格を有する高分子化合物(A)、キノンジアジド化合物(B)、並びに多価フェノール化合物(C)を含有する感放射線性樹脂組成物。〔2〕前記〔1〕に記載の感放射線性樹脂組成物により形成された透明膜。〔3〕前記〔1〕に記載の感放射線性樹脂組成物からなる層を基板の上に形成し、該層を露光したのち現像してパターンを形成する透明膜の製造方法。

Claim (excerpt)：

カルボキシル基およびオキセタン骨格を有する高分子化合物(A)、キノンジアジド化合物(B)、並びに多価フェノール化合物(C)を含有することを特徴とする感放射線性樹脂組成物。

IPC (4)：

G03F 7/033 ,  G03F 7/022 ,  G03F 7/038 503 ,  G03F 7/40 501

FI (4)：

G03F 7/033 ,  G03F 7/022 ,  G03F 7/038 503 ,  G03F 7/40 501

F-Term (20)：

2H025AA00 ,  2H025AA06 ,  2H025AB14 ,  2H025AB20 ,  2H025AC01 ,  2H025AD03 ,  2H025BE01 ,  2H025CB14 ,  2H025CB17 ,  2H025CB41 ,  2H025CB43 ,  2H025CB45 ,  2H025CC20 ,  2H025FA29 ,  2H096AA28 ,  2H096AA30 ,  2H096BA10 ,  2H096EA02 ,  2H096GA08 ,  2H096HA01