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J-GLOBAL ID：200903063545646193

露光装置のマスク固定具

Inventor： 原田 勇
Applicant, Patent owner： 株式会社三協精機製作所
Agent (1)： 横沢 志郎 (外1名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1998312642
Publication number (International publication number)：2000137330
Application date： Nov. 04, 1998
Publication date： May. 16, 2000
Summary：

【要約】【課題】 被露光部材とマスクとを全体的に均一な押し付け力で、かつ、部分的な応力集中を伴うことなく密着可能な露光装置のマスク固定具を提案すること。【解決手段】 露光装置のマスク固定具1の基板2には、中央に紫外線露光用の窓21が形成されたマスク載置面23が形成されている。基板2にヒンジピン24を介して開閉可能に支持された開閉蓋3の裏面には、可撓性の袋本体52にゲル剤53が充填された構成のゲル剤充填袋5が取り付けられている。マスク載置面23にガラスマスク7を載せ、このガラスマスク7の上に被露光部材であるガラスウェハ8を重ねた状態で開閉蓋3をクランプ機構6で締結固定すると、ゲル剤充填袋5によってガラスウェハ8がガラスマスク7に全体的に均一な力で押しつけられ、応力集中が起きることもない。

Claim (excerpt)：

被露光部材にマスクを密着固定するために用いる露光装置のマスク固定具において、被露光部材をマスクに押し付け可能な可撓性袋を有し、この可撓性袋には流体が充填されていることを特徴とする露光装置のマスク固定具。

IPC (5)：

G03F 7/20 501 ,  G02B 5/30 ,  G02B 5/32 ,  G03F 1/14 ,  H01L 21/68

FI (5)：

G03F 7/20 501 ,  G02B 5/30 ,  G02B 5/32 ,  G03F 1/14 M ,  H01L 21/68 N

F-Term (14)：

2H049CA05 ,  2H049CA07 ,  2H049CA28 ,  2H095BB29 ,  2H095BE12 ,  2H097GA22 ,  2H097GA27 ,  2H097GA31 ,  2H097LA12 ,  5F031CA02 ,  5F031CA05 ,  5F031CA07 ,  5F031HA30 ,  5F031MA27