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J-GLOBAL ID：200903063547221432

圧力センサー

Inventor： 武藤 栄二 ,  新谷 彰浩 ,  小川 重光 ,  田中 藤登 ,  土屋 宗典 ,  上原 大司 ,  長沢 健二
Applicant, Patent owner： 本田技研工業株式会社 ,  株式会社長野計器製作所
Agent (1)： 木下 實三 (外2名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1993072531
Publication number (International publication number)：1994288851
Application date： Mar. 30, 1993
Publication date： Oct. 18, 1994
Summary：

【要約】【目的】 圧力を正確に測定することができ、かつ製造が容易な圧力センサーの提供。【構成】 厚肉の基板11と、この基板11に所定間隔を置いて対向配置された薄肉の弾性ダイヤフラム12とを備えた静電容量式の圧力変換素子10の基板11側の電極を、順次内側の電極を囲うように複数に分割し、この分割された基板11側の各電極31〜33のうち、中央の電極31を除く電極32, 33をそれぞれ閉環状に形成し、最も外側の電極33を接地あるいは所定の一定電圧に保った。

Claim (excerpt)：

厚肉の基板と、この基板に所定間隔を置いて対向配置された薄肉の弾性ダイヤフラムとを備え、これらの基板と弾性ダイヤフラムとの対向面の各々に対向する電極が設けられ、前記弾性ダイヤフラムに加わる圧力を前記電極間の静電容量の変化により検出する圧力センサーであって、前記電極のうち基板側の電極は複数に分割され、この分割された基板側の各電極は順次内側の電極を囲うように配置され、この分割された基板側の各電極のうち、中央の電極を除く電極はそれぞれ閉環状に形成され、最も外側の電極は接地あるいは所定の一定電圧に保たれていることを特徴とする圧力センサー。

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (3)

• 特表平3-504161
  
• 特開昭50-003385
  
• 特開平4-020830