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J-GLOBAL ID：200903063562537403

X線検査装置

Inventor： 澤田 良一 ,  和田 幹生
Applicant, Patent owner： 株式会社島津製作所
Agent (1)： 西岡 義明
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1997011576
Publication number (International publication number)：1998206350
Application date： Jan. 24, 1997
Publication date： Aug. 07, 1998
Summary：

【要約】【課題】 X線強度が急速に変化する場合であっても、X線強度の高精度な変動補正により、高精度な検査をなしうるX線検査装置の提供【解決手段】 被検体がコンベヤシステム3に載置され、操作部5から検査指示を与えると、演算制御手段4は、X線発生部1よりX線が照射されると共に、コンベヤシステム3を駆動状態とする。そして、被検体が2上を移動すると、被検体の透過データが2から順次演算制御手段4に送出され、演算制御手段4は、2端部の検出素子のデータを用いて残りの検出素子データのX線強度の変動補正を次式I’mj=Imj/(I1,j ×(1-(m-1)/(f・Tint ))+I1,j+1 ×(m-1)/(f・Tint ))Imj:Jフレームにおいてラインセンサのm番目のチャンネルで得られるデータTint :積分時間、f:駆動周波数により行った後、被検体の2次元像を合成し、異物の有無などの検査結果を2次元像と共にTVモニタ6に表示する。

Claim (excerpt)：

X線管と、これに対向して配設され多数の検出素子からなるラインセンサを有し、前記ラインセンサと被検体とを相対的に移動させ各検出素子から得られたデータから当該被検体の検査を行うX線検査装置において、前記ラインセンサ端部の検出素子のデータと次時刻に当該検出素子で得られるデータから、各検出素子毎のX線検知時刻に応じた重みづけデータを求め、当該重みづけデータにより各検出素子で得られるデータのX線強度の変動補正を行う演算手段を備えたことを特徴とするX線検査装置。

IPC (3)：

G01N 23/04 ,  G01V 5/00 ,  G21K 5/02

FI (3)：

G01N 23/04 ,  G01V 5/00 A ,  G21K 5/02 X