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J-GLOBAL ID：200903063562804363

AOTFを備えたレ-ザ-走査式顕微鏡

Inventor： ウルリッヒ サイモン (原語表記)Ulrich Simon ,  ステファン ヴィルヘルム (原語表記)Stefan Wilherumu
Applicant, Patent owner： カール ツァイス イエナ ゲゼルシャフト ミット ベシュレンクテル ハフツング
Agent (1)： 松田 省躬
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1999143181
Publication number (International publication number)：2000047117
Application date： May. 24, 1999
Publication date： Feb. 18, 2000
Summary：

【要約】【課題】レーザー走査式顕微鏡の設置条件が不確定で一定でない場合でも、必要とされるすべての紫外線波長領域と可視スペクトル領域に対してレーザーの性能の安定性を保証すること【解決手段】レーザーを結合する光路内に備えた音響光学式温度センサー(AOTF)の周辺、またはその近傍、あるいはこれと結合して1つの温度センサーが備え、その音響光学式温度センサー自体、および/またはその周囲が、加熱あるいは冷却されるようにした

Claim (excerpt)：

レーザーを結合する光路内に1つの音響光学式温度センサー(AOTF)を備えたレーザー走査式顕微鏡において、その音響光学式温度センサー(AOTF)の周辺、またはその近傍、あるいはこれと結合して1つの温度センサーが備えられているレーザー走査式顕微鏡。

IPC (4)：

G02B 21/00 ,  G01B 11/00 ,  G01K 11/22 ,  G01N 21/27

FI (4)：

G02B 21/00 ,  G01B 11/00 Z ,  G01K 11/22 ,  G01N 21/27 E