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J-GLOBAL ID：200903063574607628

表面検査方法

Inventor： 室岡 利吉
Applicant, Patent owner： ソニー・テクトロニクス株式会社
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1994288756
Publication number (International publication number)：1996128965
Application date： Oct. 28, 1994
Publication date： May. 21, 1996
Summary：

【要約】【目的】短時間にかつ容易にディスク媒体のような被検査対象物の表面の状態を検出すると共に、ディスクの回転ブレも同時に検出可能な表面検査方法を提供すること。【構成】回転可能な円盤状の被検査対象物12の主表面上の所定の検査ラインに所定入射角で帯状の光を照射し、上記検査ラインからの反射光の輝度を反射角に対する関数として順次測定し、この測定結果から上記反射光の輝度変化の基準特性を反射角の関数として求め、上記反射光線の輝度変化の基準特性において、最大輝度位置から所定角度外れた位置に上記光ライン・センサを配置し、上記円盤状の被検査対象物が回転中に上記帯状の光により走査された上記被検査対象物の表面状態及び回転状態を検査することを特徴とする。

Claim (excerpt)：

回転可能な円盤状の被検査対象物の主表面上の所定の検査ラインに所定入射角で帯状の光を照射し、上記検査ラインからの反射光の輝度を反射角に対する関数として順次測定し、この測定結果から上記反射光の輝度変化の基準特性を反射角の関数として求め、上記反射光線の輝度変化の基準特性において、最大輝度位置から所定角度外れた位置に上記光ライン・センサを配置し、上記円盤状の被検査対象物が回転中に上記帯状の光により走査された上記被検査対象物の表面状態及び回転状態を検査することを特徴とする表面検査方法。

IPC (3)：

G01N 21/88 ,  G01B 11/30 ,  G01J 1/02