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J-GLOBAL ID：200903063595215096
有機/金属酸化物複合薄膜の製造方法
Inventor：
,
,
Applicant, Patent owner：
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1997056654
Publication number (International publication number)：1998249985
Application date： Mar. 11, 1997
Publication date： Sep. 22, 1998
Summary：
【要約】【課題】極めて薄い金属酸化物薄膜と有機化合物薄膜とからなる有機/金属酸化物複合薄膜を、厚み精度良く、且つ確実に形成し得る製造方法を提供する。【解決手段】水酸基またはカルボキシル基を有する固体表面に、該固体の水酸基またはカルボキシル基と縮合反応し且つ加水分解により水酸基を生成し得る基を有する金属化合物を接触させることにより該金属化合物を化学吸着させ、次いで、過剰の金属化合物を除去した後、上記固体表面に存在する金属化合物を加水分解して金属酸化物薄膜を形成させ、さらに、形成された金属酸化物薄膜の表面に、該金属酸化物薄膜表面に化学吸着し得る有機化合物を接触させ、過剰の有機化合物を除去する。
Claim (excerpt)：
水酸基またはカルボキシル基を有する固体表面に、該固体の水酸基またはカルボキシル基と縮合反応し且つ加水分解により水酸基を生成し得る基を有する金属化合物を接触させることにより該金属化合物を化学吸着させ、次いで、過剰の金属化合物を除去した後、上記固体表面に存在する金属化合物を加水分解して金属酸化物薄膜を形成させ、さらに、必要に応じて形成された金属酸化物薄膜の表面上に上記金属酸化物薄膜を形成させる操作を1回以上施した後、表面層を構成する金属酸化物薄膜の表面に、該金属酸化物薄膜表面に化学吸着し得る有機化合物を接触させ、過剰の有機化合物を除去することで有機化合物薄膜を形成させることを特徴とする有機/金属酸化物複合薄膜の製造方法。
IPC (11)：
B32B 9/00
, B01J 19/00
, C09K 3/00
, C23C 22/00
, C23C 26/00
, G02B 1/10
, C09D103/02
, C09D129/04
, C09D133/02
, C09D177/04
, H03H 3/02
B32B 9/00 A
, B01J 19/00 K
, C09K 3/00 C
, C23C 22/00 Z
, C23C 26/00 A
, C09D103/02
, C09D129/04 Z
, C09D133/02
, C09D177/04
, H03H 3/02 B
, G02B 1/10 Z
Cited by applicant (1)
Cited by examiner (1)
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